- X線自動薄膜測定装置
- 複数情報の同時測定
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- 各層の膜厚情報
- 各元素濃度（N、O,F,C、Si,など）
- 各種製造ラインへの適応
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- フルオートメーション
- Windows GUI
- 3rd party front-end
- 200mm / 300mm ブリッジ対応
- Gem/SECS対応
- 小フットプリント
- 高信頼性
XPSコンセプト
RVX1000は、信頼度の高いXPS技術を採用することにより、数Å程度の極薄膜に対して、高速かつ正確な測定を可能とします。膜厚とN濃度の測定は、独立かつ同時に行われます。これにより、電気特性に影響する各パラメーターとのダイレクトの相関を実現します。
- ウェハ最終外観検査装置 インスペクトラ
1000EX、1000EX-II
全チップ検査時は、オペレーターによる目視検査の 数百倍の処理能力を備えています。
特に昨今ウェハ売りの比重が高まり、外観不良基準の 厳しい"車載用チップ"の検査に多くの実績を有しています。
- 特徴
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- 東レ独自の良品自動選別学習法により、簡単なプログラム作成を実現しており、少量多品種の検査にも最適です。（車載用IC、LCDドライバー、CCD、マイコン、光デバイス等）
- インスペクトラ 100EX 87枚/時（8インチ）、10000EX-�供�160枚/時（8インチ）の高スループット検査可能で、300mm対応装置もラインナップしています。
- ウェハ表面検査装置
WM-7S（2〜8inch wafer対応機）
WM-10（6, 8,12inch wafer対応機）
- <製品概要>
- パターンなしウェハ表面の異物の数量、サイズ、座標を高感度かつ高スループットで検査します。
- <特徴>
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- Violet-LD採用により、高感度、ランニングコスト低減を達成
- 高性能・低価格・簡単操作・省スペース
- 自動感度補正機能（オプション）にて、メンテナンス作業を大幅に軽減
- Cu, Low-K等あらゆる膜種に対応
- マイクロスクラッチ、COP分離測定が可能
- 環境にやさしい省エネルギー製品
| WM-7S | ||
|---|---|---|
| 光源 | Violet-LD | |
| 検出/走査方式 | 散乱光検出／螺旋走査方式 | |
| 検出感度 | Bare Si 0．079μｍ Film 0．12μｍ |
|
| 再現性 | σn/x≦1％（99％以上） | |
| ダイナミックレンジ | 0.079μｍ 〜 5μｍ | |
| 座標精度 | 3σ≦100μｍ | |
| 占有床面積 | 860(W) × 900(D) | |
| サイズ（mm） | 860(W) × 900(D) × 1,650(H) | |
| 質量（Kg） | 600 | |
| WM-10 | ||
|---|---|---|
| 光源 | Violet-LD | |
| 検出/走査方式 | 散乱光検出／螺旋走査方式 | |
| 検出感度 | Bare Si 0．048μｍ Film 0．060μｍ |
|
| 再現性 | σn/x≦1％（99％以上） | |
| ダイナミックレンジ | 0.048μｍ 〜 5μｍ | |
| 座標精度 | 3σ≦100μｍ | |
| 占有床面積 | 860(W) × 900(D) | |
| サイズ（mm） | 860(W) × 900(D) × 1,650(H) | |
| 質量（Kg） | 600 | |
- 重ね合わせ精度測定装置
MACシリーズ
予算の低減、経費削減が実現します！
本装置はリソグラフィー工程において、パターニングされたウェーハ上の各チップの重ね合せ誤差の自動計測装置です。
新品装置で一番の低価格機種としてご提案します。
- 特徴
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- 低価格
- 各種プロセス対応 （低段差、CMP、グレインAｌ、高段差他）
- 計測制御部が一体型で小型・省スペース！
- マクロ検査装置一体型のMVシリーズもラインナップしています。
