高い信頼性を備えたリファービッシュ製品で効果的な設備投資を実現し、
ビジネスコストの削減と生産ラインの活性化を図ります。
世界的にEtch装置メーカーとしての地位を昔より築いている米国のTegal社FeRAM,MRAM及び個別半導体等の特種金属のエッチングにも実績を遺す。
又最近では車載用ICのBackside Metalizationや携帯電話の高周波フィルター用材料膜生成に対応するPVD装置にも注目を集めています。
フォトリソ工程、膜付け・エッチング工程、CVD工程、最終外観検査工程など、半導体前工程から後工程まで一貫した検査・測定装置を取り扱い。
検査工程の改善と効率化を図りたい、予算が少ない、実績ある装置を導入したいなどのご要望にお応えします。
半導体の設計検証やチップ並びにウエハーレベルでの故障・不良解析ツールから、バルクウエハのライフタイム測定器、そして金属、磁性体等材料分析といった半導体データストレージの新材料開発に、最先端技術を有した海外メーカーの装置であらゆる分析・解析ニーズにお応えいたします。
- DCG社 タイミング解析装置,回路修正FIB,エミッション顕微鏡
- エックスラディア社 高解像度3次元X線CT装置
- ヴィステックセミコンダクタシステムズ株式会社 半導体顕微鏡システム
- イマーゴ・サイエンティフィック・インスツルメンツ社 三次元アトムプローブ装置
最先端Low-Kデバイス用レーザーダイサー、高精度・高スループットのセミオート＆フルオートダイシングマシンから、最新制御技術を採用したインライン高性能ディスペンサーを取扱い。導入サポート、メンテナンスまで含め、半導体バックエンド分野の様々なご要望を実現します。
省エネ効果、超寿命化、中古コンポーネント（ポンプ・チラー）など、Total Cost Reductionを実現できるユニークなコンポーネント製品をご提案します。
